DZRT199303009CJFT7911半导体量子微结构及其研究进展彭英才Peng Yingcai Dept. of Electronics & Inform. Engineering, Hebei University, Baoding Hebei日本丰桥技术科学大学在半导体超晶格与量子阱研究取得显著进展的同时,一种具有二维和三维量子封闭作用的量子细线与量子点(量子箱或量子盒)等量子微结构,目前又成为低维物理和材料科学中一个新的活跃前沿。研究的热点在于,如何采用优异的超薄层外延技术和精密的微细加工技术实现这类低维微结构。本文在简略回顾了以往的研究之后,着重介绍了这类低维量子微结构受到的加工尺寸限制、结构制备方法及其在量子功能器件中的若干重要应用,并初步展望了未来前景。量子微结构优质薄层外延与精密微细加工量子功能器件大自然探索199303量子微结构:3561,优质薄层外延与精密微细加工:3527,量子功能器件:3493,量子点:3424,量子阱结构:2963,半导体超晶格:2230,制备方法:2123,量子箱:2025,激光器:1912,材料科学:1888,低维物理:1741,电子束:1683,四面体:1477,超晶格结构:1473,状态密度:1438,超薄层:1410,离子束:1379,尺寸限制:1342,量子盒:1300,载流子:1291I;A;56CCDA0605DZRTDZRT1993-10-01中文;I135DZRT199303
